mikrolitografie
'Mikrolitografie' je proces používaný při výrobě integrovaných obvodů a mikroelektronických součástek. Jde o techniku, která umožňuje vytvářet velmi jemné struktury na povrchu materiálu, obvykle křemíku, pomocí světla. Tento proces je klíčový pro výrobu moderních elektronických zařízení, protože umožňuje vytvářet stále menší a výkonnější čipy. Mikrolitografie zahrnuje několik kroků, včetně nanášení fotocitlivé vrstvy (fotorezistu), expozice světlem přes masku se vzorem a následného vyvolání a zpracování vzoru na povrchu materiálu.